金融界2025年5月10日消息，国家知识产权局信息显示，深圳市星海威真空设备有限公司取得一项名为“高温化学气相沉积设备”的专利，授权公告号 CN222834391U，申请日期为 2024 年 7 月。

专利摘要显示，本实用新型适用于半导体生产技术领域，提供了一种高温化学气相沉积设备，上述高温化学气相沉积设备包括真空容器、隔热部、反应容器以及加热器。与现有技术中的高温化学气相沉积设备相比，可以将反应容器与加热器设置在隔热部上的容纳空间中，通过。隔热部的设置减少热量的外传保证反应腔内温度环境的稳定以及均匀性，还可以使反应腔内的热量可以更好的累积，从而使反应腔内的温度更容易达到较高的温度以满足大尺寸工件加工的工艺要求，同时通过在真空容器上的真空腔内设置有反应容器，反应容器具有真空腔互不连通的反应腔，可以对真空腔以及反应腔进行单独抽真空，保证了反应腔内的工艺气体纯度。可以很好的保证在高温下大尺寸工件沉膜质量以及均匀性。

天眼查资料显示，深圳市星海威真空设备有限公司，成立于2022年，位于深圳市，是一家以从事通用设备制造业为主的企业。企业注册资本1000万人民币。通过天眼查大数据分析，深圳市星海威真空设备有限公司财产线索方面有商标信息8条，专利信息8条，此外企业还拥有行政许可7个。

本文源自：金融界

作者：情报员